股票代码:002962
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021-32231289
半导体光学产品

多通道

技术规格
Photolithography capabilities(光刻能力) 内容
Equipment Model(设备型号) i-Line 365nm, contact lithography for double-sided alignment
i-Line 365nm,接触式光刻,可实现双面对准
Wafer size(晶圆尺寸) 6" Round, 6" Square, 8" Round
6” 圆、6” 方、8” 圆
Resolution(最小分辨率) 4um @line/space
Alignment accuracy (TSA)(套刻精度(TSA)) ≤1μm
Alignment accuracy (BSA)(套刻精度(BSA)) ≤1.5μm
Product Size(产品尺寸) 内容
Material(材料) Optical glass, silicon wafers, sapphire, etc.
光学玻璃、硅片、蓝宝石等
Microstructure size(微结构尺寸) Min 5μm @line space
Dimensional accuracy(尺寸精度) ±2 um @ 8inch wafer
Dimensional Uniformity(尺寸均匀性) ≤5%
Optical performance(分光特性) 内容
Optical coating 540/575/615/660/710nm,FWHM ≦40nm,Tmax>60%
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传真电话
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